勻膠機旋涂儀產品參數(shù)
1.轉速范圍:20-10000RPM,轉速精度及重復性:±1RPM
2.加速度可控范圍:20-50000RPM/S(空載)
3.單步轉動時間設置范圍:0-3000S,旋轉時間分辨率:0.1S
4.處理底物尺寸:小于1cm碎片至8英寸(200mm)圓晶
5.7寸全彩觸摸屏操作,200W工業(yè)級伺服電機系統(tǒng)和PLC控制
6.可存貯100個旋涂程序,每個程序100步,每步轉速,轉動時間,加速度可調
7.可配備多四路點膠系統(tǒng)(點膠設備需另外配置)
8.程序控制模式帶正反轉晃動功能,帶程序周期運行設置功能
9.耐用的不銹鋼機身,標準的HDPE碗腔,耐腐蝕PC透明蓋
10.可額外配置一次性PET內襯,方便取出直接清洗
11.碗腔蓋互鎖開關,安全性真空互鎖開關
12.標配四種規(guī)格載物盤(直徑10mm、25mm、2英寸、4英寸)
13.外型尺寸:306(W)*434(D)*306(H)
勻膠機旋涂儀產品特點
AC200-SE勻膠機是一款高性能精密勻膠機,采用了*進的設計理念,配合精密的運動控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作??梢源尜A100組程序,每組程序可達100步。所有運行參數(shù)如轉速、加速度、轉動時間、點膠機選擇等都可在觸屏上方便設置。